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电容法露点仪原理
电容法露点仪芯片的平面金氧化铝传感器是基于电容原理测量气体中水分的含量，传感器元件在陶瓷衬底上制成，高纯度铝基片置于在金介质下。
制造过程中用一种专利技术使铝基片部分氧化，在生成的氧化铝薄膜上再敷一层薄溶敷金膜。
氧化铝薄膜是多孔渗水的绝缘体，为水分子提供滞留空间，使水分子与周围环境相平衡，薄溶敷金膜允许水分子自由进出氧化铝薄膜，起一个电容器的作用。氧化铝薄膜下的铝基片作为电容器的对立板。
传感器元件在陶瓷衬底晶片上采用半导体技术制成，制成后传感器分开放置，然后将每个传感器粘合在一个承受压力额定的馈通座上做成探头，探头支撑传感器在工业过程环境中定位。
附：冷镜露点仪原理
